納設智能

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產(chǎn)品新聞下載

SKY-P42R05（8”x2)

智能制造 兼容AGV&天車，可實現(xiàn)全自動化配套；配置NH3、N2、TMAL模塊，可自由組合，滿足不同產(chǎn)品規(guī)格。 自主安全 通過SEMI認證，符合行業(yè)標準和規(guī)范；具備自主知識產(chǎn)權(quán)，具有獨特的技術(shù)優(yōu)勢。

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SKY-P40R02（8”x1)

反應腔室 石墨腔室配件數(shù)量少，結(jié)構(gòu)更簡化；? 腔室進氣/傳片方式獨特，減少外延掉落物。 尾氣系統(tǒng) 維護僅打磨平板石墨件，方便配件的清理操作；? 維護無需分離傳輸腔，只打開腔室后端法蘭，維護簡易。 氣體系統(tǒng) 5區(qū)進氣，乙烯/三氯氫硅每區(qū)獨立控制；? 各區(qū)碳硅比獨立控制，調(diào)整更靈活。 晶圓控制 工藝中晶圓轉(zhuǎn)速可精確調(diào)控；? 工藝中晶圓高度位置精確調(diào)控。

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SKY-P20R02（6”x1)

精確：氣路獨立可控 ● 精湛：工藝指標優(yōu)異 ● 低耗：耗材成本更低? ● 省時：維護頻次更低? ● 進階：NP型靈活切換

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空間型原子層沉積設備

薄膜性能：片內(nèi)/片間/批次間不均勻性＜±5%，折射率不均勻性＜±3%（不均勻性=(最大值-最小值)/(最大值+最小值)）產(chǎn)品特色：A源B源氣路獨立，工藝距離可調(diào)，源瓶壓力可控，自動傳片及取片，可擴展腔體及氣路數(shù)量，支持客戶定制

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