SKY-P40R02（8”x1)
納設(shè)智能碳化硅外延單腔系統(tǒng)采用水平熱壁的技術(shù)路線實(shí)現(xiàn)外延生長，獨(dú)創(chuàng)的反應(yīng)腔室設(shè)計配備可獨(dú)立控制的多區(qū)進(jìn)氣系統(tǒng)，顯著提升了外延片的均勻性，同時降低外延缺陷率。
<strong>反應(yīng)腔室</strong> 石墨腔室配件數(shù)量少，結(jié)構(gòu)更簡化；? 腔室進(jìn)氣/傳片方式獨(dú)特，減少外延掉落物。 <strong>尾氣系統(tǒng)</strong> 維護(hù)僅打磨平板石墨件，方便配件的清理操作；? 維護(hù)無需分離傳輸腔，只打開腔室后端法蘭，維護(hù)簡易。 <strong>氣體系統(tǒng)</strong> 5區(qū)進(jìn)氣，乙烯/三氯氫硅每區(qū)獨(dú)立控制；? 各區(qū)碳硅比獨(dú)立控制，調(diào)整更靈活。 <strong>晶圓控制</strong> 工藝中晶圓轉(zhuǎn)速可精確調(diào)控；? 工藝中晶圓高度位置精確調(diào)控。
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納設(shè)智能碳化硅外延單腔系統(tǒng)采用水平熱壁的技術(shù)路線實(shí)現(xiàn)外延生長，獨(dú)創(chuàng)的反應(yīng)腔室設(shè)計配備可獨(dú)立控制的多區(qū)進(jìn)氣系統(tǒng)，顯著提升了外延片的均勻性，同時降低外延缺陷率。
反應(yīng)腔室
石墨腔室配件數(shù)量少，結(jié)構(gòu)更簡化；
腔室進(jìn)氣/傳片方式獨(dú)特，減少外延掉落物。
尾氣系統(tǒng)
維護(hù)僅打磨平板石墨件，方便配件的清理操作；
維護(hù)無需分離傳輸腔，只打開腔室后端法蘭，維護(hù)簡易。
氣體系統(tǒng)
5區(qū)進(jìn)氣，乙烯/三氯氫硅每區(qū)獨(dú)立控制；
各區(qū)碳硅比獨(dú)立控制，調(diào)整更靈活。
晶圓控制
工藝中晶圓轉(zhuǎn)速可精確調(diào)控；
工藝中晶圓高度位置精確調(diào)控。
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